展示内容：

東京大学「超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点」が文部科学省「先端研究施設共用イノベーション創出事業」の拠点としてスタートします。最高10nmの精度で8インチウエハが１時間で描画可能な超微細・高速リソグラフィー，世界最高分解能（0.1nm）で原子像が観察できる超高圧電子顕微鏡，クラス１スーパークリーンルームを用いた超微細加工（深掘りエッチングなど）が，都心の好立地に50m以内に集中しています。ナノテクノロジー・ネットワークの１拠点でありながら加工・分析のフィードバックループが本拠点のみで可能です。