展示内容:
産学の力を結集させ今後の社会ニーズに対応する先導的な研究成果として3テーマを紹介します。
(1)超長尺カーボンナノチューブ(50〜200㎛)の基板上垂直高密度合成を可能とした、熱CVD技術とプラズマCVD技術の融合によるハイブリッドCVD技術。
(2)高価で配給不安定な酸化インジウムに代わる安価・多用途性等の優れた特性を持つ酸化亜鉛透明導電膜の大面積(1m×1m角)化技術。
(3)低電圧駆動の電子放出素子等として実用化が期待されている先端直径が数nmの尖鋭な針状シリコン結晶を低コストでウエハ上一面に形成する技術。
|