展示内容：
気体放電で作られるプラズマは、ナノスケールの微細加工や機能性薄膜の堆積、表面改質、新素材の創生など、広く産業分野に応用されている。本展示では、名古屋大学工学研究科プラズマエレクトロニクス研究グループにおける最新の研究成果を紹介し、新しい産学連携の可能性を模索する。主な成果は、これまでないメートル級の大面積・高密度プラズマを、マイクロ波放電によって均一に生成する技術を開発した点と、従来不可能であったプロセス用プラズマの密度を高感度で簡単にモニタできる表面波プローブを開発した点の２つである。