展示内容：
ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）は自動車用センサ、インクジェットヘッド、ビデオプロジェクタなどで実用化し、さらに，ウェアラブル機器、医用バイオ機器などの分野への応用発展が期待されている。シリコンはそれらを構成する最も汎用的な構造材料である。これまで、単結晶のエッチングメカニズムと加工特性を研究し、微細な３次元形状加工技術を開発してきた。エッチングに関する国際共同研究をすすめる一方で、ＭＥＭＳの研究開発をサポートするデータベース、シミュレーションソフトの商品化を実現した。図１はエッチングシミュレーションソフトMCROCAD、図２はソフトにリンクするエッチングデータベースODETTEである。いずれも、すでに、国内のＭＥＭＳ関連企業、研究機関に導入されている。