展示内容：
フラットパネルディスプレイ製造支援装置として注目をあつめている大気開放型ＣＶＤ装置とその装置から製作した酸化物セラミックス薄膜の展示を行う。本装置を用いることにより、酸化チタン、酸化亜鉛、ＩＴＯ、酸化ハフニウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウムなどの薄膜を短時間に低コストで合成することが可能となる。さらにナノ材料としてのウイスカーを形成することができる。