展示内容：
我々は、まったく新しい発想から、液体中での高周波プラズマの発生に成功し、液中での低温成膜と高速度化学反応を可能にした。エネルギーの供給源は、電子レンジに用いられるマイクロ波などの電磁波であり、特殊な装置を用いることなく、室温大気圧中でプラズマを発生させることができます。液中プラズマを蒸着に用いると、気相プラズマの約１万倍の成膜速度が得られます。本技術を利用し、DLCやSiCなどの高速化学蒸着、熱に弱い材料への化学蒸着、カーボンナノチューブの液中合成、有害物質の分解などの研究開発を進めています。