展示テーマ：
サーモサイフォン・廃熱回収／高速低温スパッタ法・機能性薄膜

展示内容：
（１）サーモサイフォンは熱輸送に相変化現象を利用する高性能の熱輸送デバイスであり，自然エネルギーおよび廃熱等の低熱源の有効利用に関して有効である。このサーモサイフォンの優れた熱輸送特性，熱応答性に着目し，ビニールハウス暖房機の廃熱回収・利用への応用を検討した。具体的には，廃熱回収・利用に適したサーモサイフォン形状および熱輸送特性の検討，実機を模擬した廃熱回収・利用システムの設計，製作および性能試験等を行い，廃熱回収・利用にサーモサイフォンを用いることの有用性を示した。 （２）近年、スパッタ法により機能性薄膜を耐熱性に劣る有機系材料の基板上へ成膜する場合も多くあり、薄膜結晶構造制御の重要なパラメータの一つである基板温度を事実上動かすことが出来ない状況も多い。そこで熱エネルギーに代わる薄膜結晶構造制御のための新たなエネルギーが必要とされてきた。本研究では代替エネルギーとして原子状励起種の化学アニーリング効果に着目し、高速低温スパッタ法を用いて結晶化制御因子の確立および活性な酸化反応種による結晶成長モデルの提案を行い、結晶化機能性薄膜の高速低温成膜技術開発を行っている。

廃熱回収装置