展示内容：

エアロゾルデポジション法による大面積常温成膜体の見本（プラズマ耐食イットリア常温成膜体、圧電厚膜、高透明アルミナ常温成膜体など）<br>ＡＤ法応用製品（静電チャック、キャパシター内臓プリント基板、ＧＨｚ電磁波シールド部品、超高速光スキャナー（動作デモ有り）など）