展示内容：
産業技術総合研究所と三菱重工業は高圧狭電極間隔において、原料ガスのSiH4を枯
渇させ、ＶＨＦ(超高周波)電力を使用することで高速かつ高品質の微結晶シリコン
薄膜を大面積に作製する技術を共同で開発し、薄膜シリコンタンデム型太陽電池の事
業化に結びつけた。従来の結晶シリコン太陽電池に比べてシリコンの厚みが1/60〜
1/100程度と、大幅な省シリコン化に成功したことで、低コスト化と大量生産による
太陽光発電のさらなる普及促進が期待され、二酸化炭素削減にも多大な寄与が可能と
期待される。