イノベーション・ジャパン2012
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 集積加工研究グループ
研究員 鈴木 宗泰

層状結晶構造を利用した高温キャパシタ
 
 
ナノテクノロジー
出展分野 ナノテクノロジー プレゼンテーション
情報
PB-29 
プレゼンテーションB 
9/28 15:20-15:40
出展ゾーン 若手研究者による展示
展示会小間番号 P-26

研究成果概要

技術の概要

層状結晶構造が持つ機能性を制御/発現するのに常温で高緻密膜を作製できるエアロゾルデポジション(AD)法を利用。焼結体より優れた機能性を発現し、常温で高緻密の粒子配向化膜の作製にも成功した。 IPMの小型化・高性能化に向けて、耐熱キャパシタを高温で動作するSiCパワー素子近傍へ配置する必要がある。本技術で耐熱高容量スナバキャパシタを開発中(室温耐圧1 MV/cm、300℃まで使用可能な高容量キャパシタを実現)。

マッチングを想定する業界

HV/EVなどの自動車産業および関連業界 / キャパシタ、インバーター用基板、蓄電・発電デバイス開発、高耐圧・絶縁コーティング技術関連。

従来技術に対する新規性・優位性

ビスマス層状構造強誘電体は優れた温度特性や絶縁特性を持つが、熱処理中のビスマスの揮発が問題であった。AD法を利用し揮発を抑制、微細構造制御により、高耐圧、高容量、優れた温度特性を持つキャパシタを実現した。

実用化に向けた課題

原料粒子の低コスト化、層状結晶構造を適応したAD法の大面積コーティング・量産化技術の開発など。

 
 
 
 

関連論文・特許、件数・概要

関連論文・特許、件数・概要1 関連論文:46報 M. Suzuki et al.: Jpn. J. Appl. Phys 49 (2010) 09MD09. M. Suzuki et al.: Jpn. J. Appl. Phys 49 (2010) 09MA10. 

お問い合わせ先

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TEL:029-861-7808
FAX:029-862-6130
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